FTS-A12全自动探针台
同步国外的先进技术,填补国内技术空白
低噪声,快速移动,高产能 。
产品概要
FTS-A12全自动探针台提供一种全自动晶圆***针测技术,是一款上下兼容处理(12寸/8寸)标准晶圆的WAT/CP测试设备,全新升***的A12在(晶圆自动上下片装载输送、微米***全闭环运动控制、Wafer自动精准对针、视觉自动**校准、高速反馈通信、强大数据信息处理)等性能上进行了技术改进,能实现为不同客户提供一个经济且高效稳定的测试方案。
应用方向
晶圆测试、各类器件、Wafer等进行I-V、C-V、光信号、RF、1/f噪声等特性分析、射频测试等
产品特点
高精度/低振动/高强度低重心设计/先进的光学图像识别/混合智能算法系统
高效的运动精度≤±1μm和速度(200 mm/s)
便捷的仪器接入,兼容各类型的ATE
支持单点测试和连续测试
自动alignment/查找晶圆中心/测量die size
晶圆ID视觉识别功能